摘要：通过选择在低加速电压下，根据蒙特卡罗模拟入射电子在纳米薄膜中的弹性及非弹性碰撞、能量损失、方向改变等信息，建立纳米薄膜蒙特卡罗吸收修正模型。并将此修正模型结合低加速电压能谱谱图应用于纳米尺度薄膜成分的检测。选择使用该方法对膜厚90nm MoSi2薄膜进行低电压EDS成分定量分析验证。结果表明，蒙特卡罗方法分析纳米尺度薄膜成分的准确性较高，元素含量大于20％时，分析结果相对误差小于±5％。因此，利用蒙特卡罗模拟可以有效提升纳米尺度薄膜EDs成分分析的准确性。